Módulo de laser acoplado de fibra de alta potência 10W 375nm

Módulo de laser acoplado a fibra de 10 W e 375 nm de alta potência - uma fonte de luz UV de última geração otimizada para máquinas de litografia avançadas, incluindo sistemas de imagem direta a laser (LDI), alinhadores sem máscara e equipamentos de fotolitografia semicondutores. Combinando absorção fotorresistente superior de comprimento de onda próximo ao UV de 375 nm, saída de alta potência de 10 W e tecnologia de acoplamento de fibra de precisão, este módulo oferece velocidade de exposição, resolução e estabilidade incomparáveis ​​para microfabricação de semicondutores, PCBs, chips de LED e dispositivos microfluídicos.

Principais vantagens para precisão e eficiência litográfica

1. Comprimento de onda quase UV de 375 nm: otimização fotorresistente para padronização de alta resolução

• A luz quase UV de 375 nm (tolerância de ± 2 nm) oferece eficiência de absorção 50–80% maior em fotorresistentes linha g/linha h em comparação com lasers violeta de 405 nm, permitindo resolução submícron (até 0,5 μm) e bordas de padrão mais nítidas para fabricação de semicondutores e PCB.

• O comprimento de onda está dentro da janela de absorção ideal para a maioria dos fotorresistentes comerciais, minimizando os requisitos de energia de exposição e reduzindo a distorção do padrão induzida pelo calor.

• A largura de linha espectral ultraestreita (≤5nm FWHM) garante uma resposta fotorresistente consistente em todo o campo de exposição, eliminando variações de padrão induzidas por mudança de cor.

2. Saída de alta potência de 10 W: rendimento acelerado de litografia

• A potência de saída CW de 10W via fibra multimodo de 105μm/200μm (personalizável) oferece alta densidade de energia no plano de exposição, reduzindo o tempo de exposição em 60% em comparação com módulos de 5W para linhas de produção de alto volume.

• Integrando-se a um sistema de resfriamento de água, a estabilidade de energia ≤±0,5% ao longo de 8 horas garante exposição uniforme em grandes substratos, fundamental para manter a qualidade consistente do padrão na fabricação em lote.

• A modulação PWM de 0 a 100% com tempo de resposta em nível de microssegundos permite litografia precisa em escala de cinza e controle de exposição dinâmico para microestruturas 3D.

3. Acoplamento de fibra de precisão: integração flexível e entrega uniforme de feixe

• O acoplamento de fibra de alta eficiência (≥85%) minimiza a perda óptica, garantindo a máxima transmissão de potência ao sistema de digitalização da máquina de litografia.

• As opções de comprimento de fibra de 2 a 10 m (fibra de sílica de grau UV com revestimento antirreflexo) fornecem integração flexível em caminhos ópticos de litografia complexos sem comprometer a qualidade do feixe.

4. Compatibilidade com sistema de controle inteligente e litografia

• A interface de comunicação digital RS485 permite monitoramento e ajuste em tempo real de parâmetros de potência, temperatura e modulação, integrando-se perfeitamente aos controladores da máquina de litografia.

• O design modular com conectores pigtail de fibra padrão (FC/PC, SMA905) se adapta à maioria das máquinas de litografia comerciais, incluindo Raith PicoMaster, Heidelberg MLA150 e sistemas LDI domésticos.